杜邦全氟弹性体可提高制造设备使用寿命

杜邦高性能弹性体（DuPont Performance Elastomers (DPE)）与来自德州奥斯汀的Spansion公司合作以评估一种专门用于提高半导体制造设备无故障运行时间的全氟弹性体产品-O形环。其令人震惊的产品性能促使Spansion公司对其预防性设备维护（PM）进度表作出变化，从而提高产量并降低制造成本。

目前在Fab 25生产线上运行的HDPCVD设备生产中所遇到的问题是工艺气体（SiH4, O2, He）和清洁化学品（NF3 和O2两步等离子处理）两者所造成的腐蚀性加工环境。来自密封腐蚀和压缩形变的高粒子数和渗漏将会造成在IMD和STI工艺中出现密封故障。设备维护进度表的周期为90天但是密封故障往往在30至60天内发生。因此O形环的性能与机械性和等离子腐蚀的化学攻击密切相关。

Spansion公司转向杜邦高性能弹性体公司以寻求更多的材料选择从而提高产品的密封时间以及产生较少的粒子。创新的填料和交联结构对解决此问题的适用技术至关重要。在参照了规格书和测试结果之后对产品进行了改性，并将制造的Kalrez® 9100部件与其它竞争产品进行比较。结果表明Kalrez® 9100在任何条件下均比所有竞争产品更加优异。正如Spansion公司所进行的扩展评估测试所表明的一样，所得到的产品表现出了较低的密封腐蚀，产生较少的粒子以及较好的弹性回复特性。其关键部件的寿命得到了大幅度延长。